MOCVD, Metal Organic Chemical Vapor Deposition

有機金属気相成長法。有機金属を原料に用いた結晶成長方法、または、その装置。
化合物半導体の製造に用いられ、数nmのデザインルールに用いられる。
MOVPE (Metal Organic Vapor Phase Epitaxy) と呼ぶこともある。